[发明专利]一种脉冲触发深能级瞬态谱的测试系统及方法有效
| 申请号： | 202010735747.7 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN111707922B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 杨剑群;李兴冀;吕钢 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R27/26 |
| 代理公司： | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 11473 | 代理人： | 涂杰 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种脉冲触发深能级瞬态谱的测试系统及方法，涉及测试技术领域，包括：向被测半导体施加周期触发信号，周期触发信号通过控制脉冲触发深能级瞬态谱的测试系统中的多个开关器件的开闭形成；获取被测半导体在周期触发信号下的电容变化数据，电容变化数据通过脉冲触发深能级瞬态谱的测试系统中的电容检测电路检测输出；对电容变化数据进行数据分析，确定双极脉冲深能级瞬态谱，双极脉冲深能级瞬态谱包括正向深能级瞬态谱和负向深能级瞬态谱。本发明采用双极脉冲触发深能级瞬态谱测量，可得到更为丰富的深能级瞬态谱信息，测试效率高，测试结果更为准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 触发 能级 瞬态 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
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