[发明专利]一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法在审
| 申请号： | 202010736499.8 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN111962031A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 蒋明伟;徐晓华;张蛟;徐国军;兰邦银 | 申请（专利权）人： | 宣城开盛新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23F1/44 |
| 代理公司： | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人： | 王燕 |
| 地址： | 242000 安徽省宣城市经济技术*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法包括铜铟镓涂层剥离、酸洗、清洗、表面粗化、冲洗及包装等步骤。本发明专利通过提供一种铜铟镓靶材背衬管回收利用的方法，解决了通常残靶只能进行报废处理的方式，该方法依靠稀硝酸与铜铟镓涂层反应而不与不锈钢管反应的方法进行去除残靶上的铜铟镓涂层，并对背衬管进行清洗、粗化，达到背衬管的回收利用，该方法有效地提高材料利用率，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜铟镓靶材背衬管 回收 利用 方法 | ||
【主权项】：
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