[发明专利]一种防止金属污染的HF-PECVD法制石墨烯装置

摘要

一种防止金属污染的HF‑PECVD法制石墨烯装置，包括机体以及设置于所述机体中的热丝管，所述热丝管中设有两个电极块，所述电极块之间连接有钨丝，所述热丝管左端设有与外界连通的进气口,所述机体中设有位于所述热丝管右侧的石墨烯腔，所述热丝管右端和所述石墨烯腔相连通，所述石墨烯腔右壁上设有与外界连通的出口，所述机体中设有位于所述石墨烯腔右侧的处理腔，所述处理腔左端设有与外界连通的入口，本装置可以自动除去沉淀石墨烯时产生的金属污染，并通过碘将污染变为碘化钨最后重新分解为钨并附着在钨丝上，同时本装置可以根据钨丝变化的重量从而加入不同量的碘蒸汽对污染物进行处理。