[发明专利]叉指方式的非对称双向可控硅静电释放器件及其制作方法

摘要

本发明公开了一种叉指方式的非对称双向可控硅静电释放器件。首先，本发明选用非对称的可控硅结构，利用保护环的路径作为负脉冲来临时的泄放路径，可以避免传统器件存在保护环寄生路径的问题；其次，这种新型的叉指方式可根据增减阴极的数量控制器件防护等级。若器件防护等级高，则增加阴极数量；若器件防护等级低，则减小阴极数量，节省版图面积。通过将内侧叉指的P+浮空，使得内侧叉指的寄生NPN基极电阻加大，同时帮助外侧叉指的开启，使器件导通速度变快以及电流分部更加均匀；最后，整个器件的维持电压一般由最内侧叉指决定，避免了传统叉指方式的器件维持电压随叉指数增加而减小的问题。