[发明专利]一种碳纳米管导电薄膜的制作方法、显示面板和显示装置有效
| 申请号： | 202010744356.1 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111986834B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 夏玉明;卓恩宗;袁海江 | 申请（专利权）人： | 北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;H01B1/04;H01B13/00;H01L27/12;H01L27/32;G02F1/1343 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 536000 广西壮族自治区北海市工业园区北海大*** | 国省代码： | 广西;45 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种碳纳米管导电薄膜的制作方法、显示面板和显示装置。碳纳米管导电薄膜的制作方法中，包括步骤：形成介孔二氧化硅；通过原子层沉积技术在介孔二氧化硅孔道内沉积催化层；将孔道内沉积有催化层的介孔二氧化硅制作成介孔二氧化硅薄膜；通过化学气相沉积技术在介孔二氧化硅薄膜的孔道内通入碳源前驱体，在催化层的催化下发生反应形成碳纳米管薄膜；去除碳纳米管薄膜中的介孔二氧化硅和催化层，形成透明的碳纳米管导电薄膜。本申请通过结合原子层沉积技术和化学气相沉积技术得到致密性和柔韧性优良的碳纳米管导电薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 导电 薄膜 制作方法 显示 面板 显示装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司，未经北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010744356.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
