[发明专利]一种干膜生产用曝光机在审
申请号: | 202010747925.8 | 申请日: | 2020-07-30 |
公开(公告)号: | CN111948914A | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
发明(设计)人: | 卓金明 | 申请(专利权)人: | 苏州康迪科光电新材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人: | 汪发成 |
地址: | 215300 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种干膜生产用曝光机,涉及干膜生产设备技术领域,针对现有的曝光机散热性能不佳的问题,现提出如下方案,其包括壳体,所述壳体的内部依次开设有设备腔、曝光腔、蓄水腔、驱动腔和冷却腔,所述曝光腔的内部安装有多个曝光灯管,所述曝光灯管的上方设有横向设置的玻璃载台,所述玻璃载台固定在曝光腔的内部,所述设备腔底部的内壁固定有竖向设置的设备主体,所述壳体的顶部通过铰链分别铰接有两扇活动门。本发明可对曝光机运行时,产生的热量进行快速有效的吸收,且可加快曝光灯管的冷却速率,并且可简单方便的对曝光机的散热部件进行拆卸,冷却效率高,续航时间长,工作性能高,使用方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 生产 曝光 | ||
【主权项】:
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