[发明专利]一种多边形孔等离子体发生装置及发生方法在审
申请号: | 202010749706.3 | 申请日: | 2020-07-30 |
公开(公告)号: | CN111918471A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 胡佳伟;李庆;成星;韩波 | 申请(专利权)人: | 西安空天机电智能制造有限公司 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 韩玙 |
地址: | 710000 陕西省西安市国家民*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种多边形孔等离子体发生装置,包括依次紧密贴合的上电极板、介质板、下电极板;介质板包括矩形绝缘薄板,矩形绝缘薄板上均匀开设多个尺寸一致的正多边形的通孔a,矩形绝缘薄板上表面位于每个通孔a的边缘连接与通孔a形状一致的凸台,每个凸台连接上电极板;上电极板包括上矩形金属板薄板,上矩形金属板薄板上开设与通孔a尺寸、位置一致的通孔b,每个通孔b内嵌接一个凸台;下电极板包括下矩形金属板薄板,每个下矩形金属板薄板上开设与通孔a尺寸、位置一致的通孔c;具有安装简单、生产效率高、生产成本低、结构刚性好、制造维护简单、环境适应性强的优点;本发明等离子体发生方法,能够产生大面积均匀的等离子体放电区域。 | ||
搜索关键词: | 一种 多边形 等离子体 发生 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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