[发明专利]半导体存储装置有效
申请号: | 202010750028.2 | 申请日: | 2020-07-30 |
公开(公告)号: | CN112530969B | 公开(公告)日: | 2023-09-05 |
发明(设计)人: | 豊永一成 | 申请(专利权)人: | 铠侠股份有限公司 |
主分类号: | H10B43/35 | 分类号: | H10B43/35;H10B43/27 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 实施方式提供一种可靠性提高的半导体存储装置。实施方式的半导体存储装置具备衬底、第1晶体管、导电层、柱、及电荷储存膜,所述衬底包含第1导电类型的第1区域、及第1导电类型的第2区域,所述第1晶体管具有:第1绝缘膜,设置在第1区域及第2区域之上;第1导电类型的第1配线,设置在第1区域之上,电连接于第1区域,且第1导电类型杂质浓度比第1区域更高;及第1导电类型的第2配线,设置在第2区域之上,电连接于第2区域,且第1导电类型杂质浓度比第2区域更高;所述导电层与该衬底面平行地设置在第1晶体管的上方,所述柱贯通导电层,且包含半导体膜,所述电荷储存膜设置在半导体膜与导电层之间。 | ||
搜索关键词: | 半导体 存储 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于铠侠股份有限公司,未经铠侠股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010750028.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。