[发明专利]半导体存储装置有效

专利信息
申请号: 202010750028.2 申请日: 2020-07-30
公开(公告)号: CN112530969B 公开(公告)日: 2023-09-05
发明(设计)人: 豊永一成 申请(专利权)人: 铠侠股份有限公司
主分类号: H10B43/35 分类号: H10B43/35;H10B43/27
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 张世俊
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实施方式提供一种可靠性提高的半导体存储装置。实施方式的半导体存储装置具备衬底、第1晶体管、导电层、柱、及电荷储存膜,所述衬底包含第1导电类型的第1区域、及第1导电类型的第2区域,所述第1晶体管具有:第1绝缘膜,设置在第1区域及第2区域之上;第1导电类型的第1配线,设置在第1区域之上,电连接于第1区域,且第1导电类型杂质浓度比第1区域更高;及第1导电类型的第2配线,设置在第2区域之上,电连接于第2区域,且第1导电类型杂质浓度比第2区域更高;所述导电层与该衬底面平行地设置在第1晶体管的上方,所述柱贯通导电层,且包含半导体膜,所述电荷储存膜设置在半导体膜与导电层之间。
搜索关键词: 半导体 存储 装置
【主权项】:
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