[发明专利]一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具在审
| 申请号： | 202010751280.5 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111769071A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 徐凡;赵官峰;卓江山;娄维尧;蔡姚杰 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L41/257 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 周红芳 |
| 地址： | 310014 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具，主要包括极化组件、电极夹持器和夹具安装台；极化组件包括上电极极化板、下电极极化板和绝缘隔离板，绝缘隔离板上设预留开口；电极夹持器包括扭簧以及通过连接销互相铰接的上夹板本体和下夹板本体，上夹板本体前端和下夹板本体前端分别设有上夹板和下夹板，扭簧套于连接销上，且扭簧两端分别固定于上夹板和下夹板上；电极夹持器安装于夹具安装台上，上电极极化板连接于上夹板下表面，下电极极化板连接于下夹板上表面，绝缘隔离板被夹持在上电极极化板和下电极极化板之间。本发明的极化夹具适用于较小面积的压电复合薄膜材料的夹取，可以将多个电极夹持器部分安放于夹具安装台上共同工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 压电 复合 薄膜 材料 极化 夹具 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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