[发明专利]掩膜板、掩膜板的制备方法及蒸镀装置

摘要

本发明提供一种掩膜板、掩膜板的制备方法及蒸镀装置，涉及显示技术领域，旨在解决现有掩膜板无法制备高分辨率的显示面板的问题。该掩膜板包括层叠设置的第一掩膜层和第二掩膜层，第一掩膜层上设置有多个第一开口，第二掩膜层包括相互独立的多个掩膜部，掩膜部由有机材料制成，多个掩膜部与多个第一开口一一对应设置，每个所述掩膜部上均设置有呈阵列排布的多个第二开口。每个第一开口在对应的掩膜部上的投影覆盖该掩膜部的所有第二开口。本发明能够降低掩膜板的制备难度，并且满足高分辨率的显示面板的制备需求，优化显示面板的显示效果。