[发明专利]样品固定装置有效
| 申请号： | 202010757374.3 | 申请日： | 2020-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN111913091B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 丁德建;曹茂庆;段淑卿;高金德 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种样品固定装置，用于和样品承载台配合使用，样品承载台的中间区域具有第一孔和周侧的第一壁体，在第一壁体上形成有多个真空吸孔；样品固定装置的主体板具有中间区域的第二孔和周侧的第二壁体，第二壁体的最外侧边缘所围区域的尺寸大于真空作用区域的尺寸；在第二壁体的正面上设置有导电块；被测试样品通过热熔胶固定在第二孔中，被测试样品的正面上的电极衬垫通过引线和导电块连接；测试时，各真空吸孔对第二壁体的背面进行真空吸附固定。本发明能实现对尺寸小于真空吸孔的真空作用区域的尺寸的被测试样品进行真空吸力固定并实现测试；能很好的应用于采用SIL镜头的样品失效定位设备中，实现对裸片级的芯片样品进行失效分析。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 固定 装置 | ||
【主权项】：
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