[发明专利]一种用于电子束物理气相沉积的连续供料装置及方法有效
申请号: | 202010758823.6 | 申请日: | 2020-07-31 |
公开(公告)号: | CN111846911B | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 姜春竹;崔向中;高巍;周国栋;马江宁 | 申请(专利权)人: | 中国航空制造技术研究院 |
主分类号: | B65G47/82 | 分类号: | B65G47/82;B65G65/40 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100024 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于电子束物理气相沉积的连续供料装置及方法,所述供料装置包括载料板、水冷板、储料箱、填料机构、导料管及送料机构,载料板和水冷板间隔布置且水冷板设在载料板上方,储料箱设在载料板上,填料机构包括填料头和填料杆,填料头设在储料箱内,填料杆与填料头相连且在储料箱内可移动,导料管设在载料板和水冷板之间且包括填料段、引导段及进料段,引导段设在填料段与进料段之间,填料段设有与储料箱连通的第一开口,棒料由储料箱经过第一开口进入填料段,送料机构包括第一送料杆和第二送料杆,第一送料杆和第二送料杆沿导料管长度方向可移动。本发明能够自动且连续进料,提高了工作效率,减少了棒料的损耗,降低了设备运行成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 电子束 物理 沉积 连续 供料 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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