[发明专利]一种涂胶显影设备的喷嘴结构在审
申请号: | 202010761216.5 | 申请日: | 2020-07-31 |
公开(公告)号: | CN111905940A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 吴永利 | 申请(专利权)人: | 芯米(厦门)半导体设备有限公司 |
主分类号: | B05B1/30 | 分类号: | B05B1/30;B05B15/65;G03F7/16;G03F7/30 |
代理公司: | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人: | 吴圳添 |
地址: | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种涂胶显影设备的喷嘴结构,包括连接管、密封片、喷头和连接装置,连接管右侧设置有密封片,并且密封片右侧与喷头相连接,连接管左侧设置有连接装置,该涂胶显影设备的喷嘴结构通过设置了连接装置,连接时只需将连接环与外部设备进行连接,并由限位块进行限位增加固定性即可,解决了现有喷嘴结构连接时稳定性较差的问题,通过设置了流量调节机构,使用转动环带动推动环转动,使推块推动转动片转动进行流量调节,解决了对于不同加工件需要的原料较少,流量过大容易出现浪费以及溢出的情况的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 涂胶 显影 设备 喷嘴 结构 | ||
【主权项】:
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