[发明专利]一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置有效
| 申请号： | 202010762895.8 | 申请日： | 2020-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN111962027B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 黄永振;张红信;王晓强;贾凯;陈闻凯;王会;赵景训;闵卿旭 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人： | 丁建春 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置，蒸镀喷嘴包括喷嘴部和连接喷嘴部的过滤部，喷嘴部和过滤部为中空结构且过滤部的侧壁上设有多个连通孔。本申请蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置能够降低蒸镀颗粒从喷嘴部传输至基板上，同时也能够避免喷嘴被堵塞。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷嘴 蒸镀点源 装置 | ||
【主权项】：
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