[发明专利]镀膜设备、方法、系统及太阳能电池、组件、发电系统

摘要

本发明公开了一种异质结太阳能电池镀膜设备、方法、系统及太阳能电池、组件、发电系统，属于太阳能电池片加工领域。本发明的异质结太阳能电池镀膜设备，用于异质结太阳能电池非晶硅基薄膜沉积，其包括工艺腔，工艺腔包括：至少有两个本征工艺腔，用于本征层硅薄膜工艺的沉积；以及至少一个掺杂工艺腔，用于N型硅薄膜或P型硅薄膜工艺的沉积；本征工艺腔和掺杂工艺腔中的腔体之间采用隔断阀相隔绝。本发明在结合气体比例以及压力的控制，使该设备能够同时对多个太阳能电池片进行加工，大大提高了整体加工效率，适于商业化使用。