[发明专利]一种电镜真空转移台在审
| 申请号： | 202010767186.9 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN112198180A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 闫鹏飞;魏江涛;张正锋;王宽;隋曼龄 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学;北京晨浩微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204;G01N23/20025 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 沈波 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电镜真空转移台，包括电机驱动模块、真空腔室密封模块、扫描电镜和电气控制模块。扫描电镜安装在真空腔室密封模块中，电气控制模块对电机驱动模块进行驱动控制，电机驱动模块用以控制真空腔室密封模块的开启和密闭。在真空手套箱中将对空气敏感的样品，放到真空转移台上，完成对样品的密封，避免与空气接触反应，然后将其安装到扫描电镜中，待其设备完成抽真空后，打开真空转移台，使样品位于扫描探头下，完成对样品的扫描拍摄或FIB制取透射电镜样品后，关闭真空转移台将样品密封，取出真空转移台放进真空手套箱中，从而完成对空气敏感样品的扫描拍摄。本发明安全性较高、控制系统简单，稳定性高且可扩展性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 转移 | ||
【主权项】：
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