[发明专利]一种THz天线的简易制作方法有效

专利信息
申请号: 202010769198.5 申请日: 2020-08-03
公开(公告)号: CN112002999B 公开(公告)日: 2023-05-23
发明(设计)人: 吴蕊;赵亚平;苏波 申请(专利权)人: 首都师范大学
主分类号: H01Q1/36 分类号: H01Q1/36;H01Q1/50
代理公司: 北京理工大学专利中心 11120 代理人: 李微微
地址: 100048 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种THz天线的简易制作方法,将直径200μm的铜线固定在LT‑GaAs外延片中间位置,用蒸镀的方法在外延片上镀上金层,完成镀金后取下铜线,即可形成两个电极,再进行后续焊接工作即可;本发明合理使用了一根直径200μm的铜线来辅助蒸镀金属金的步骤,用简便的方法形成了小孔径的THz天线间隙,该方法直接采用低温砷化镓(LT‑GaAs)外延片,省去了传统THz天线制作时薄膜腐蚀的步骤,有效避免了腐蚀溶液有一定毒性和表层光电导材料与基底间键合不紧密等问题,所得信号强度高,且完整性好,样品可重复利用率高,发热量小,不易损坏,可长期使用,材料安全,不会对实验人员造成伤害;制作的天线可以得到完整的THz信号,并且可多次重复使用。
搜索关键词: 一种 thz 天线 简易 制作方法
【主权项】:
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