[发明专利]一种银蚀刻液组合物在审
| 申请号： | 202010769466.3 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN111910187A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 乔正收;王金城 | 申请（专利权）人： | 镇江润晶高纯化工科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/30 | 分类号： | C23F1/30 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 李枝玲 |
| 地址： | 212000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种银蚀刻液组合物，所述组合物包括无机酸、有机酸、无机盐和余量的离子水，本发明的银蚀刻液蚀刻能力强,具有长时间使用寿命,可有效蚀刻由银或银合金构成的单一膜、或者由所述单一膜和透明导电膜构成的多层膜,不会引起银的残留或残渣,在半导体平面显示等微电子领域具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
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