[发明专利]一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器在审
| 申请号： | 202010770017.0 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN111847406A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 江晓松 | 申请（专利权）人： | 先普半导体技术（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C01B23/00 | 分类号： | C01B23/00;B01D53/81;B01D53/75;B01D46/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201108 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用蒸散型吸气剂的惰性气体纯化器，气体纯化领域。它包括蒸散型吸气剂、吸气剂支架、玻璃管道、法兰、过滤网，其中吸气剂支架在玻璃管道的内部，蒸散型吸气剂固定在支架上，法兰封接在玻璃管道上，玻璃管道两端内置过滤网。本发明采用蒸散型吸气剂作为纯化剂，配以玻璃管道和法兰，使用时将蒸散型吸气剂蒸散在玻璃管道上，使惰性气体通过附有吸气剂膜的玻璃管道，使吸气剂膜吸收惰性气体中的杂质气体，达到纯化惰性气体的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 蒸散 吸气 惰性气体 纯化 | ||
【主权项】：
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