[发明专利]一种检测系统及检测方法在审
| 申请号： | 202010772540.7 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN114062382A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;李海卫;张鹏斌 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 薛晨光 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种检测系统及检测方法，该检测系统包括检测装置、承载装置和转运装置，其中，所述检测装置用于检测待测对象的第一表面或第二表面，所述检测装置的光轴与所述待测对象的第一表面或第二表面垂直；所述承载装置置于检测腔中，用于承载所述待测对象的第一表面或者用于承载所述待测对象的边缘区域；所述转运装置用于将所述待测对象移至所述承载装置或者从所述承载装置移走，配置为使所述待测对象的第一表面或第二表面处于待测状态。通过功能结构优化的检测系统，得以在一个检测腔内完成对待测器件两个表面的检测，在有效降低检测成本的基础上，可大大减少检测时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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