[发明专利]半绝缘单晶碳化硅块材以及粉末在审
申请号: | 202010773040.5 | 申请日: | 2020-08-04 |
公开(公告)号: | CN113818081A | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 马代良;虞邦英;林柏丞 | 申请(专利权)人: | 盛新材料科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B29/64;C30B23/00 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 李有财 |
地址: | 中国台湾桃园市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本申请涉及一种半绝缘单晶碳化硅块材以及粉末,包括单一多形体的单晶,半绝缘单晶碳化硅块材内具有硅空缺,其中硅空缺浓度大于5E11cm^‑3。 | ||
搜索关键词: | 绝缘 碳化硅 以及 粉末 | ||
【主权项】:
暂无信息
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