[发明专利]一种用于金刚石生长的PLC辉光控制方法及装置有效
| 申请号： | 202010774602.8 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN112011828B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 任泽阳;何琦;张进成;张金风;梁振芳;苏凯;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/16 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于金刚石生长的PLC辉光控制方法及装置，该方法包括：获取初始辉光功率以及配方表；控制射频电源开启辉光放电，并根据配方表中生长准备阶段的标准真空压力与第一实时压力的比较结果对射频电源进行控制；控制射频电源继续进行辉光放电使目标辉光功率保持不变，同时控制目标压力保持不变；控制射频电源逐渐降低辉光放电功率，并根据配方表中生长结束阶段的标准真空压力与第二实时压力的比较结果对射频电源进行控制。该控制方法将真空压力控制与射频电源辉光放电控制进行有机结合，为金刚石生长提供了良好的条件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 金刚石 生长 plc 辉光 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
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