[发明专利]一种基于微机电系统的晶圆测试微细探针在审
| 申请号： | 202010779495.8 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN111929479A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;殷岚勇 | 申请（专利权）人： | 苏州韬盛电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R31/26;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于微机电系统的晶圆测试微细探针，包括探针主体，所述探针主体呈近似“L”型结构，所述探针主体包括第一端部、第二端部，以及位于第一端部、第二端部之间、用于连接第一端部、第二端部的连接部，所述连接部上设有平行于所述连接部的凹槽，所述凹槽前后贯通于所述连接部。本发明的探针可用于微小间距的芯片测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微机 系统 测试 微细 探针 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州韬盛电子科技有限公司，未经苏州韬盛电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010779495.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：圆弧形墙面放线方法
- 下一篇：一种自动化肥料稀释设备
