[发明专利]三维断层摄影检查装置及方法在审
| 申请号： | 202010780516.8 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN112326600A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 甄秉友;金泰翰;金珉洙 | 申请（专利权）人： | 株式会社湖碧驰 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;张敬强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种能够非破坏性地检查诸如曲面玻璃板(curved glass panel)的三维检查对象物的表面及内部的三维断层摄影检查装置及方法。所述三维断层摄影检查装包括：两个以上的光干涉断层摄影部(20、30、40)，其对包括具有以彼此不同的角度设置的表面的两个以上的摄影区域的检查对象物(5)的两个以上的摄影区域分别进行断层摄影，其中，与检查对象物(5)的各摄影区域的表面倾斜角度对应地，测量光(L)的入射角度各自不同；以及运算部(50)，其合成由所述两个以上的光干涉断层摄影部(20、30、40)获得的影像(6a、6b、6c)的数据来获得检查对象物(5)的整体断层影像。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 断层 摄影 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
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