[发明专利]一种可把靶管内部空气完全排净的端头

摘要

一种可把靶管内部空气完全排净的端头，包括靶材、靶材卡箍和端头本体；端头本体上设有靶管，且端头本体内设有磁钢芯；磁钢芯内设有进水通道，进水通道与靶管连通；端头本体的上部设有排水通道，排水通道与靶管连通；靶材与靶管通过靶材卡箍连接；靶管的内部顶端与排水通道处于同一水平高度，冷却水从进水通道进入靶管，并在靶管四周回水，冷却水最终从排水通道处流出，同时排出靶管内部的空气。本发明结构更加严谨，能够把靶管内部空气完全排净，同时该端头工艺可靠性更高，更加契合当前镀膜设备，使当前设备的功率得到显著的提高。