[发明专利]固态金属有机化合物转态方法及其转态系统

摘要

本发明揭露一种固态金属有机化合物转态方法及其转态系统，其方法应用具有反应腔的有机金属化学气相沉积设备(MOCVD)，包含(a)提供预先填充金属有机化合物的可替换式容器；(b)加热固态金属有机化合物为液态金属有机化合物；(c)载入第一载气；(d)第一载气通过流经可替换式容器中的金属有机化合物；(e)输出饱和蒸气压；(f)加载来自于有机金属化学气相沉积设备的第二载气；以及(g)稳定模块混合第二载气与第一载气带出的金属有机的饱和蒸气压以形成混合气体，混合气体不会发生冷凝现象且输出至反应腔的金属有机化合物数量保持不变。