[发明专利]阵列基板及其制备方法

摘要

本申请提供一种阵列基板及其制备方法，所述阵列基板包括基板、第一薄膜晶体管、第一层间介质层、感光传感器以及第一金属层，所述第一薄膜晶体管设置于所述基板上，所述第一层间介质层覆盖所述第一薄膜晶体管以及所述基板，所述第一层间介质层包括第一通孔，所述第一通孔贯穿所述第一层间介质层以暴露所述第一薄膜晶体管层，所述感光传感器设置于所述第一层间介质层上，并位于所述第一薄膜晶体管之上，所述第一金属层设置于所述第一通孔，并电连接所述第一薄膜晶体管和所述感光传感器。通过将感光传感器设置于第一薄膜晶体管上，提高了阵列基板的开口率，并提高感光传感器的灵敏度。