[发明专利]形状测量装置、基准器及检测仪的校准方法有效
| 申请号： | 202010788337.9 | 申请日： | 2020-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN112444229B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 高娜;市原浩一 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20;G01B21/24;G01B21/04 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种形状测量装置，其在检测仪的零点校准中不易产生零点位置的偏差。检测仪包括排成一列的至少三个位移计，并且与测量对象物对置配置从而检测从至少三个位移计到测量对象物为止的距离的位移。基准器支承于支承部件上从而提供检测仪的校准用的基准面。控制装置进行检测仪的校准。基准器具有在至少三个位移计的排列方向上的两处支承于支承部件上的支承结构。控制装置在使基准面对置于至少三个位移计的状态下进行检测仪的校准。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测量 装置 基准 检测 校准 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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