[发明专利]成膜系统、成膜系统的异常部位判别方法及计算机可读取的存储介质有效
| 申请号： | 202010789576.6 | 申请日： | 2020-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN112342519B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 鸟泻光太郎 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/04;C23C14/34;C23C14/54;H10K71/10;H10K71/60 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供成膜系统、成膜系统的异常部位判别方法及计算机可读取的存储介质。本发明的成膜系统具有用于隔着掩模对基板进行成膜的成膜装置和用于向所述成膜装置搬送基板或掩模的搬送装置，其特征在于，包括：存储部件，用于存储与所述成膜装置的动作以及所述搬送装置的动作中的至少一个相关联的至少一个动作参数；以及判别部件，基于存储于所述存储部件的所述至少一个动作参数，判别所述搬送装置和/或所述成膜装置的异常部位。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 异常 部位 判别 方法 计算机 读取 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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