[发明专利]一种样品制备方法及装置有效
| 申请号： | 202010795796.X | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN111896291B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 夏思;张洋 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N1/04 | 分类号： | G01N1/04;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 柳虹 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种样品制备方法及装置，对3D‑NAND存储器截面上的待检测层做出标记，待检测层位于3D‑NAND存储器衬底上，截面为垂直于衬底方向的表面；沿着截面的垂直方向且平行于衬底的方向提取样品，样品包括待检测层；根据标记对样品进行减薄，以获得样品中的待检测层。这样，在3D‑NAND存储器垂直于衬底方向的表面上对待检测层做出标记，而后沿着截面的垂直方向且平行于衬底的方向上提取样品，在提取样品的过程中仅需提取待检测层及待检测层周围的少量叠层。相比于从3D‑NAND存储器的表面提取样品，从截面获取样品，具有很小的体积和质量。而且提取的样品在进行减薄处理时，仅需去除待检测层周围的部分其他叠层，减少机台资源的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 样品 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
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