[发明专利]一种声波谐振器的制作工艺及声波谐振器

摘要

本发明公开了一种声波谐振器的制作工艺及声波谐振器，该声波谐振器包括衬底、声学镜以及由底电极层、压电层和顶电极层组成的谐振薄膜层，其中谐振薄膜层与声学镜在衬底的厚度方向重叠的区域为投影区域，在谐振薄膜层中具有无定形态部分，无定形态部分的一侧位于投影区域之内或与投影区域的边界重合，无定形态部分的另一侧位于投影区域之外。在优选的实施例中，声学镜包括空腔或布拉格反射层。无定形态部分可以极大地抑制因为顶电极层向外连接而导致的谐振器寄生振荡。在无定形态部分所在的区域可以直接对电极层进行布线，避免了底电极层、顶电极层与压电层在有效谐振区域外产生寄生和谐振干涉，降低了工艺成本和布线设计难度。