[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202010798554.6 | 申请日: | 2020-08-11 |
公开(公告)号: | CN113394275A | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 西川俊幸;菅原秀人 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社 |
主分类号: | H01L29/45 | 分类号: | H01L29/45;H01L21/285 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 白丽 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的实施方式的半导体装置具备:包含n型杂质的III‑V族半导体层;第1导电层,所述第1导电层设置于III‑V族半导体层上,包含Ti(钛)及可成为III‑V族半导体层的p型杂质的第1元素,且具有第1区域和第1元素浓度高于第1区域的第2区域;和设置于第1导电层上的第2导电层。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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