[发明专利]一种用于微晶玻璃的化学机械抛光液在审
| 申请号： | 202010800917.5 | 申请日： | 2020-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN111777951A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王新海;马瑾;张永军 | 申请（专利权）人： | 陕西国防工业职业技术学院 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人： | 王程远 |
| 地址： | 710300 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于微晶玻璃的化学机械抛光液，其组成成分及质量百分含量如下：复合磨料10％‑30％、前腐蚀剂0.1％‑0.5％、表面活性剂0.05％‑2％、分散剂1‑5％、螯合剂0.02％‑1％、pH调节剂0.5％‑1％、超纯水余量，复合磨料由二氧化硅、二氧化铈、二氧化锆、二氧化钛纳米粒子组成；本发明采用二级处理机制，采用前腐蚀剂进行表面腐蚀，得到平滑、透明的表面，减少抛光量，提高工作效率；进行酸腐蚀后再利用碱将二氧化硅进行转化为可溶于水地物质，不仅可以加快反应速率，也能有效降低表面粗糙度；复合磨料采用多种组合，能够提高抛光出去率，进一步提升工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 玻璃 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
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