[发明专利]一种洁净室专用晶圆自动上下料设备在审
| 申请号： | 202010802753.X | 申请日： | 2020-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN111933561A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 龚昱;王伟忠;李耀孟;赵超;刘红军 | 申请（专利权）人： | 上海新创达智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 王依 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区南汇*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种洁净室专用晶圆自动上下料设备，晶圆自动上下料设备包括上料机台，所述上料机台一侧设有缓存机台，缓存机台一侧设有下料机台，下料机台与上料机台左右对称，金属烤架前方设有RFID红外射频设备，安装框架一侧设有二维码读头，缓存组件包括镜像分布的晶圆缓存提升机构，晶圆缓存提升机构一侧设有入口导向装置，晶圆缓存提升机构之间设有皮带输送机构，皮带输送机构内设有晶圆定位对中机构，吸盘型真空抓手一端设有吸盘组件，晶圆预对准器上同样设有轴向分布的吸盘组件。本发明采用特殊的真空吸盘，预对准器上同样设有真空吸盘，设有多种工作模式，兼容多种晶圆料盒，能自动识别放置料盒种类，减少了人工误操作带来的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 洁净室 专用 自动 上下 设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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