[发明专利]一种掩膜组件、蒸镀装置及OLED优化方法在审
| 申请号： | 202010802804.9 | 申请日： | 2020-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN111850468A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 王江南;张亮;张川;徐蒙蒙;史晓波;冯敏强;廖良生 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀工艺领域，公开一种掩膜组件、蒸镀装置及OLED优化方法。所述掩膜组件包括承载盘、挡片和驱动组件，承载盘用于放置基片，承载盘上设置有开口，开口用于将基片的待沉积区域露出，挡片用于遮挡开口，驱动组件与挡片连接，用于带动挡片按照预设动作或操作指令将基片露出，以使待沉积材料在基片的露出区域沉积成膜。所述蒸镀装置包括上述的掩膜组件。所述OLED优化方法采用上述的掩膜组件。本发明可以连续获得多个厚度的OLED器件，操作简单方便，无需反复切换掩膜板，可以一次性实现多个不同OLED膜层厚度的试验条件验证，能够高效快速地优化OLED膜层的厚度尺寸，方便快速确定最佳试验条件，减少试验所需时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 装置 oled 优化 方法 | ||
【主权项】：
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