[发明专利]一种微机电系统的三轴加速度计有效
| 申请号： | 202010805361.9 | 申请日： | 2020-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN112034205B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 森克·阿卡尔;布伦顿·罗丝·西蒙;桑德希尔·S·希瑞达拉莫尔希;散蒂帕·迈蒂 | 申请（专利权）人： | 上海矽睿科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 200050 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及微机电系统技术领域，尤其涉及一种微机电系统的三轴加速度计，包括：第一质量块，第一质量块包括第一惯性区和第一Z轴电极区，还包括一第一转轴设置于第一惯性区与第一Z轴电极区之间，第一质量块通过第一转轴可枢转的连接于一锚点上；第二质量块，第二质量块包括第二惯性区和第二Z轴电极区，还包括一第二转轴设置于第二惯性区与第二Z轴电极区之间，第二质量块通过第二转轴可枢转的连接于锚点上；第一Z轴电极区及第二Z轴电极区同一朝向的表面设置有用以减轻重量的凹陷。有益效果：降低电容式加速度计的偏移量，增加其机械灵敏度和电容灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 系统 加速度计 | ||
【主权项】：
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