[发明专利]一种叠加TCO透明导电薄膜的高效双面TOPCON电池工艺

摘要

本发明涉及一种叠加TCO透明导电薄膜的高效双面TOPCON电池工艺，包括以下步骤：S1.制绒；S2.氧化；S3.正面掺磷非晶硅/背面掺硼非晶硅；S4.退火；S5.双面沉积TCO/SiNx‑S6.丝网印刷烧结。整个工艺无需在低温环境下进行，双面性更好两面均能发电。在多晶硅层表面增加AZO透明导电层，能够阻挡浆料烧穿多晶硅层，提升电池片的效率、良率，使得太阳能电池的导电浆料选择变得更加容易。对多晶硅层的导电性能要求降低，可以降低多晶硅的掺杂浓度，提升少子寿命，改善膜的质量和钝化效果，电池效率更高。具有更高的兼容性，原有p型硅片产能可得到继续利用，相比现有PERC、常规TOPCON技术，工序更简单效率更高。