[发明专利]一种TCO与SiNx结合增加太阳能电池减反射膜层在审
| 申请号： | 202010806552.7 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN111933720A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 王军;张三洋;奥赛马·托贝尔 | 申请（专利权）人： | 无锡琨圣智能装备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0216 | 分类号： | H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/18;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/455;C23C16/505;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种TCO与SiNx结合增加太阳能电池减反射膜层，包括在多晶硅层表面增加透明导电膜，所述透明导电膜为铝掺杂的氧化锌薄膜，所述透明导电膜厚度控制在3‑60nm范围，所述透明导电膜增加在掺磷多晶硅和氮化硅层中间，透明导电膜具有良好的导电性能，在氮化硅与n型poly‑Si之间先沉积一层透明导电膜，既可以增强多晶硅层的横向传导能力，又能够保护掺杂多晶硅不被导电浆料烧穿，不影响多晶硅的钝化性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tco sinx 结合 增加 太阳能电池 减反射膜 | ||
【主权项】：
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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