[发明专利]一种可升降的硅片储存装置在审
| 申请号： | 202010807527.0 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN111843967A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 乔石;戴鑫辉;李林;赵晓;姚欢 | 申请（专利权）人： | 青岛高测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B25H3/04 | 分类号： | B25H3/04;B08B3/10 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 于晶晶 |
| 地址： | 266114 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种可升降的硅片储存装置，其包括框架、设置在框架上的升降台、设置于升降台上用于存储硅片的储存箱、及设置于升降台底部用于抬升升降台的动力装置，所述动力装置包括固定设置在升降台底部的减速电机、与减速电机电机轴连接的齿轮、及设置在框架上与齿轮啮合的齿条，减速电机带动齿轮转动，通过齿条的配合实现升降台的升降，从而实现储存箱的升降，该装置能将研磨机研磨好的硅片进行储存，同时能对硅片上残留的研磨液进行清洗，并且能自动计数硅片数量，实现将研磨机处理后的储存到该装置内的硅片半自动的进行清洗，向下运输及快速计数，将多步工作一次完成，大大提高了生产效率，减少了人力成本，及人工计数所带来的误差，适合推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 升降 硅片 储存 装置 | ||
【主权项】：
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