[发明专利]一种掩膜板组件在审
| 申请号： | 202010808260.7 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN112063968A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 邱岳;臧公正;李伟丽 | 申请（专利权）人： | 维信诺科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人： | 丁建春 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种掩膜板组件，用于制造目标基板，该掩膜板组件包括掩膜架、可膨胀件和掩膜网，掩膜架上设置有连接面，掩膜架在连接面开设有凹槽；可膨胀件设置于凹槽内靠近掩膜架中心位置的一端；掩膜网搭接在掩膜架连接面一侧，且与可膨胀件连接；其中，可膨胀件沿凹槽背离掩膜架中心方向，可随目标基板膨胀而膨胀，以拉伸掩膜网而使得掩膜网趋于平整。本申请掩膜板组件能够减小掩膜网的下垂量，有利于提高蒸镀精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 组件 | ||
【主权项】：
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