[发明专利]转移设备及转移工件的方法在审

专利信息
申请号: 202010809282.5 申请日: 2020-08-12
公开(公告)号: CN113808987A 公开(公告)日: 2021-12-17
发明(设计)人: 萧育竹;吴权峰 申请(专利权)人: 贤昇科技股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67
代理公司: 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 代理人: 史瞳;谢琼慧
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种转移设备及转移工件的方法,适于进行多个工件的转移。转移设备包含承载装置、施压装置、剥离装置及控制装置。承载装置包括黏着膜片,黏着膜片具有用以黏着工件的黏着面及顶面。施压装置位于黏着膜片上方用以下压顶面。剥离装置包括位于黏着膜片下方的载具,载具形成有多个凹槽,各凹槽用以供位置对齐的对应的工件容置,在施压装置下压顶面且各凹槽容置对应的工件的状态下,载具能够移动以施力在容置于凹槽内的对应的工件并将其剥离黏着面。控制装置用以控制黏着膜片、载具以及施压装置之间的相对位置与位移。借此能降低转移工时并提升转移效率。
搜索关键词: 转移 设备 工件 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于贤昇科技股份有限公司,未经贤昇科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010809282.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top