[发明专利]一种压电微机械声波换能器阵列耦合隔离方法有效
| 申请号： | 202010809712.3 | 申请日： | 2020-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN111884647B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 刘利芳;杜亦佳;计炜梁;孙翔宇;邢占强 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | H03K19/14 | 分类号： | H03K19/14 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 张梦泽 |
| 地址： | 621054 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压电微机械声波换能器阵列耦合隔离方法。所述压电微机械声波换能器阵列耦合隔离方法包括：在加工压电微机械声波换能器阵列时，在底硅上刻蚀多个隔离槽，从而将底硅划分为多个换能区域；在各换能区域内刻蚀至少一个空腔。本发明采用在底硅上刻蚀出隔离槽的方法来阻断声波的传播，从而达到隔离换能器间耦合的目的，能够提高换能器阵列的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 微机 声波 换能器 阵列 耦合 隔离 方法 | ||
【主权项】：
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