[发明专利]在聚酰亚胺薄膜上实现微纳图形化处理的方法在审
| 申请号： | 202010811184.5 | 申请日： | 2020-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN112103636A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 刘盼;伊菲珍妮亚·扎哈瑞欧;汉克·凡·扎尔;张国旗;张靖;樊嘉杰;李梁涛 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01Q1/38 | 分类号： | H01Q1/38;C23C14/20;C23C14/24;C23F1/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 王洁平 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于柔性基板技术领域，具体为一种在聚酰亚胺薄膜上实现微纳图形化处理的方法。具体步骤如下：（1）先将聚碳酸亚丙酯PPC材料旋涂在硅片上，然后将聚酰亚胺薄膜贴合在硅片上面；（2）使用蒸发工艺沉积铝层；（3）旋涂正性光刻胶层；（4）在紫外线照射的作用下，用掩膜版对光刻胶涂层进行选择性曝光，再进行软烘干；（5）用刻蚀剂对光刻胶进行化学刻蚀；（6）使用干法蚀刻和湿法蚀刻刻蚀掉暴露在外面的铝层，保留被光刻胶覆盖的铝层；（7）剥离光刻胶；（8）加热分离得到聚酰亚胺薄膜。本发明用PPC粘合聚酰亚胺薄膜进行图像化处理，方法简单，效果优异，可制造出能够工作在60GHz频率下的柔性天线。 | ||
| 搜索关键词： | 聚酰亚胺 薄膜 实现 图形 处理 方法 | ||
【主权项】：
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