[发明专利]光刻胶组合物、用它形成光刻图案的方法及其用途有效
| 申请号： | 202010811408.2 | 申请日： | 2020-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN111948904B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 徐宏;何向明;王倩倩 | 申请（专利权）人： | 常州华睿芯材科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 王勤思 |
| 地址： | 213100 江苏省常州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种光刻胶组合物，包括：金属氧化物纳米簇，所述金属氧化物纳米簇包括金属氧化物内核和与所述金属氧化物内核配位的有机配体，其分子通式为M |
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| 搜索关键词： | 光刻 组合 形成 图案 方法 及其 用途 | ||
【主权项】：
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