[发明专利]微器件的转移方法和转移系统在审
| 申请号： | 202010816180.6 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN112993120A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 范春林;张杨;汪庆;王斌 | 申请（专利权）人： | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/48 | 分类号： | H01L33/48;H01L21/683;B23K26/122;B23K26/57;B23K26/70;G21K1/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 402760 重庆市璧*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微器件的转移方法和系统，该方法包括：将第一激光分为第二激光和第三激光；将所述第二激光提供给一激光剥离组件，以使所述激光剥离组件将微器件从衬底剥离；以及将所述第三激光提供给一光镊调节组件，通过所述光镊调节组件将剥离后的所述微器件拾取并转移至一背板。通过该方法，微器件只与激光接触，可避免损伤微器件，可以适用于小尺寸的微器件的转移。只需利用第一激光进行分光即可实现微器件从衬底的剥离，以及拾取和转移剥离的微器件，可减少激光组件的数量，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 转移 方法 系统 | ||
【主权项】：
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