[发明专利]MEMS探针卡有效
| 申请号： | 202010816387.3 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN111766418B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 赵梁玉;王艾琳 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R3/00 | 分类号： | G01R3/00;G01R31/28;G01R1/073 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明MEMS探针卡属于IC制作业技术领域，具体涉及微机电系统制造、半导体裸芯测试及相关关键技术；该探针卡从上到下依次包括加强件、PCB板、转接层、导引板和MEMS探针；本发明不仅公开了一种MEMS探针卡，而且公开了一种MEMS探针卡的全新制作工艺，从MEMS探针卡的结构，到导引板MEMS探针结构模板烧刻设备与方法，面向导引板MEMS探针结构模板烧刻的探针定位方法，再到导引板MEMS探针结构制作方法，最后到导引板MEMS探针结构与转接层的对接装置与方法，最终实现亚微米级MEMS探针卡的制造。 | ||
| 搜索关键词： | mems 探针 | ||
【主权项】：
暂无信息
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