[发明专利]一种超声波悬浮输送机构在审
| 申请号： | 202010817048.7 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN111816598A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 夏永飞;戴秋喜;潘加永;刘光照 | 申请（专利权）人： | 苏州映真智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高新区建林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种超声波悬浮输送机构，用于输送太阳能电池硅片，包括基座，在所述基座上安装有超声波悬浮组件和硅片输送组件，其中，所述超声波悬浮组件包括超声波发生装置和悬浮板，所述超声波发生装置发出超声波，以在所述悬浮板上方预定高度处产生预定悬浮支持力，使硅片悬浮在所述预定高度处；所述硅片输送组件包括传送带，用于输送悬浮在所述预定高度处的硅片。该超声波悬浮输送机构，实现了太阳能电池硅片的无接触式输送，可有效避免硅片出现裂开、破损、划伤及污染等问题，提高硅片质量，减少资源浪费，该超声波悬浮输送机构可适用于各种加工工序之间硅片的流转，可用于传送各种不同规格的硅片，适用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 悬浮 输送 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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