[发明专利]一种蚀刻液组合物、其制备方法及应用有效
| 申请号： | 202010817221.3 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN111925798B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 王溯;蒋闯;季峥;徐锦波 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;H01L21/311 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;陈卓 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种蚀刻液组合物、其制备及应用。具体地，所述的蚀刻液组合物，按质量份数计，其包括下述组分：磷酸76.5～84.6份、水13.5～15份、如式A所示的化合物0.5～10份。使用本发明的如式A所示的化合物及组合物可提供高选择比，提升蚀刻液的寿命，能适应层叠结构层数的增加。 |
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| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 组合 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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