[发明专利]一种硅熔液液面位置的检测装置及单晶炉在审
申请号: | 202010818550.X | 申请日: | 2020-08-14 |
公开(公告)号: | CN114075694A | 公开(公告)日: | 2022-02-22 |
发明(设计)人: | 杨文武;沈福哲 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/26 | 分类号: | C30B15/26;C30B29/06 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;陈丽宁 |
地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供一种硅熔液液面位置的检测装置及单晶炉,所述检测装置包括:双头吊钩,所述双头吊钩位于所述组合套筒的内侧,所述双头吊钩的上端与所述组合套筒的侧壁固定连接,所述双头吊钩的下端向下伸出于所述组合套筒的底部,用于在硅熔液液面形成倒影;检测单元,所述检测单元用于捕捉所述双头吊钩的下端在所述硅熔液液面上形成的倒影成像。根据本发明实施例的检测装置,通过利用双头吊钩在硅熔液液面形成稳定且清晰的倒影,使检测单元能够通过准确捕捉倒影继而测得硅熔液液面的准确位置,从而确保了拉晶过程中各项参数的调节的准确性,提高了制得的晶棒的品质。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅熔液 液面 位置 检测 装置 单晶炉 | ||
【主权项】:
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