[发明专利]阵列基板母板和检测刻蚀残留的方法有效
| 申请号： | 202010820923.7 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN111952285B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 李伟华;刘洋;孙剑秋;李阳 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66;H01L27/12;G09G3/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 范坤坤 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种阵列基板母板和检测刻蚀残留的方法。该阵列基板母板包括至少一个阵列基板和至少一个测试元件，测试元件用于监控阵列基板的被监控层的刻蚀残留；测试元件包括：测试走线层，测试走线层与阵列基板的被监控层同层设置；测试走线层包括相邻设置的第一测试走线和第二测试走线，第一测试走线和第二测试走线均沿第一方向延伸且绝缘；第一焊盘，位于第一测试走线的一端，第一焊盘与第一测试走线短接；第二焊盘，位于第二测试走线的一端，第二焊盘与第二测试走线短接；其中，通过侦测第一焊盘和第二焊盘的电学参数测试第一测试走线和第二测试走线之间是否短接。与现有技术相比，本发明实施例提升了产品良率、降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 母板 检测 刻蚀 残留 方法 | ||
【主权项】：
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